Tyhjiötekniikka kehittyi 1600-luvun kokeista teollisuuden käyttöön

Otto von Guericke valmisti tyhjiön mekaanisella pumpulla ja esitteli ilmanpaineen voimaa vuonna 1657. Myöhemmät pumpputekniikat paransivat saavutettavaa tyhjiötä ja mahdollistivat uusia tutkimus- ja teollisuussovelluksia.